ガリウム砒素を用いたカンチレバーの試作

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-148

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

タイトル(英語): Micro-fabrication of Gallium Arsenide Cantilever for Atomic Force Microscope Application

著者名: 岩田 展也(北陸先端科学技術大学院大学),若山 貴行(北陸先端科学技術大学院大学),小林 利成(北陸先端科学技術大学院大学),山田 省二(北陸先端科学技術大学院大学)

著者名(英語): Nobuya Iwata(Japan Advanced Institute of Science and Technology),Takayuki Wakayama(Japan Advanced Institute of Science and Technology),Toshinari Kobayashi(Japan Advanced Institute of Science and Technology),Syoji Yamada(Japan Advanced Institute of Science and Technology)

キーワード: カンチレバー|ガリウム砒素|プロセス|共振周波数|原子間力顕微鏡

要約(日本語): カンチレバーは原子間力顕微鏡の分解能、感度を決める重要なものである。その材料はほぼＳｉ系に限られているが、光、磁性関連への応用を考えると必ずしも最善の選択とは言い難い。本研究においては代表的な化合物半導体であるガリウム砒素を用いて、カンチレバーの作製を行なった結果を報告する。歩留まりはおよそ１／３、共振周波数は１５０～３５０ｋＨｚ、原子間力顕微鏡用のカンチレバーとして機能することも実証された。マイクロマシニングの分野において、化合物半導体を立体加工する方法はＳｉに比べて圧倒的に報告例が少なく、本研究ではガリウム砒素からカンチレバーを作製することにより、化合物半導体の立体加工プロセスに関する見通しを明らかにする。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 549 Kバイト