HF蒸気を用いた簡易な犠牲層エッチングによる高歩留まりなマイクロ構造のリリース法

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-151

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

タイトル(英語): Novel Releasing Method that Realizes High Yield of Micro Structures Based on Vapor HF Sacrificial Release Technique Using Simple Labware

著者名: 福田和人 (東京大学),新田 英之(東京大学),肥後 昭男(東京大学),藤田 博之(東京大学),年吉 洋(東京大学)

著者名(英語): Yamato Fukuta(The University of Tokyo),Hideyuki Nitta(The University of Tokyo),Akio Higo(The University of Tokyo),Hiroyuki Fujita(The University of Tokyo),Hiroshi Toshiyoshi(The University of Tokyo)

キーワード: マイクロマシニング|犠牲層エッチング|フッ化水素酸|蒸気|簡易リリース法|高歩留まり

要約(日本語): フッ化水素酸の蒸気を用いた簡易な犠牲層エッチングによるマイクロ構造のリリース方法、およびそれを用いて製作した構造について紹介する。本方法は、スティッキング問題を回避できる、簡易な装置で実現できる、という長所があり、マイクロ構造を高歩留まりに製作できる。本方法により、5000 mmのマイクロカンチレバーのリリースに成功した。また、本方法により製作された長さ320mm×厚さ2mmのアームおよび櫛歯アクチュエータを持つマイクログリッパが、スムースに駆動することが示された。さらに、560個のマイクロ構造を同時に均一にリリースできることも示された。これらより、本方法は、シリコンマイクロマシニングにおける有用な犠牲層エッチングの手段であることが示された。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,794 Kバイト