レーザ光パターン化によるマイクロ光造形

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-153

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

タイトル(英語): Micro stereo-lithography by using laser patterning.

著者名: 松井 多志(福井県工業技術センター),松尾 光恭(福井県工業技術センター),小林 喬郎(福井大学)

著者名(英語): Futoshi Matsui(Industrial Technology Center of Fukui Prefecture),Mitsuyasu Matsuo(Industrial Technology Center of Fukui Prefecture),Takao Kobayashi(Fukui University)

キーワード: マイクロマシン|光造形|レーザ

要約(日本語): 微小部品を製作する付加加工法として光造形技術が期待されている。一般の光造形や多光子過程を用いる光造形では、ガルバノミラー等を用いるレーザ光走査線方式である為、微小造形には高度の光走査制御が要求される。そこで、光制御の簡素化を図り、露光マスクにデジタルマイクロミラーデバイス（DMD）を用い、任意のパターンを持たせたレーザ光を投影し、非走査線式の微小光造形を行ったので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 783 Kバイト