FORMULA技術により作製した微小機械部品

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-154

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

タイトル(英語): Micro Mechanical Parts Fabricated by FORMULA Technology

著者名: 高橋睦也 (富士ゼロックス),堀田宏之 (富士ゼロックス),山田高幸 (富士ゼロックス)

キーワード: 常温接合法|微小機械部品|微小歯車|片持ち梁|薄膜|積層

要約(日本語): 常温接合法により薄膜パターンを積層して微小構造体を作製するFORMULA技術により微小歯車や片持ち梁を作製した。膜厚8μｍのAl-Cu薄膜をスパッタ法にて成膜し、RIE法でパターニングした後に積層した。35層積層した微小歯車の高さは約200μｍと設計値よりも80μｍ低く、塑性変形していることが分かった。これはAl-Cuの降伏応力を超える圧接応力が繰り返し印加されたためであり、圧接応力低減のために薄膜の表面粗さを改善する必要がある。片持ち梁は、犠牲層を用いることなく単に2層積層したもので、長さ45μｍの水平な梁を作製できた。これらのことから他の様々な微小部品も本技術により作製可能と考えられる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,030 Kバイト