Si鋳型を用いた微細異形穴形成

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-155

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

タイトル(英語): Micro deformed hole Forming Process using a Si mold

著者名: 安井学 (神奈川県産業技術総合研究所),平林康男 (神奈川県産業技術総合研究所),三田信 (東京大学生産技術研究所),藤田博之 (東京大学生産技術研究所)

キーワード: 微細異型穴|電鋳|シリコン鋳型|電着レジスト

要約(日本語): 本研究では我々が提案してきたSi鋳型と電鋳技術を組合せた微細穴形成技術1)を異形穴に適用することを検討した。その結果，半径が0.0μｍから10.0μｍの範囲では，鋳型の半径にレジストの厚みを加えた値がNi膜に転写される半径であることを，回帰直線の切片と傾きが表しており，本プロセスの転写精度の高さを示していると考えられる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,410 Kバイト