LIGAプロセスにおける微小３次元駆動ステージ制御システムの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-157

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

タイトル(英語): A control system of 3-D micro drive stages for LIGA.

著者名: 大松 和弘(姫路工業大学),才木 常正(兵庫県立工業技術センター),山下 満(兵庫県立工業技術センター),高橋 豐(姫路工業大学),服部 正(姫路工業大学)

著者名(英語): Ohmatsu Kazuhiro(Graduate School of Engineering,Himeji Institute of Technology),Saiki Tsunemasa(Hyogo Prefectural Institute of Technology),Yamashita Michiru(Hyogo Prefectural Institute of Technology),Takahashi Yutaka(Laboratory of Advanced Science and Technology for Industry,Hime),Hattori Tadashi(Laboratory of Advanced Science and Technology for Industry,Hime)

キーワード: LIGA|放射光|HXL|マイクロシステム|マイクロマシン|計測・制御

要約(日本語): 放射光を用いる微小加工技術であるLIGAプロセス露光工程では，露光中にX線マスクとレジストを支持するステージを走査することがある．姫路工大放射光施設ニュースバルのLIGA用ビームラインBL11は９自由度の微小３次元駆動ステージを持つ．このような駆動自由度の高いステージは駆動シーケンスを指定するのが困難である．そこで本稿ではこのようなステージの制御をより簡単にする方法として２次元の表に駆動タイムテーブルを作成しこれを基にステージを駆動する方法を検討し，この方法を採るシステムを開発した．開発したシステムによりBL11の微小３次元駆動ステージの制御を簡単に行うことができるようになった．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 885 Kバイト