ホットキャリア発光解析によるトレンチゲート酸化膜の評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 4-007

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

タイトル(英語): Evaluation of trench gate oxides by means of photon emission microscopy

著者名: 臼井 正則(豊田中央研究所),杉山 隆英(豊田中央研究所),石子 雅康(豊田中央研究所),森本 淳(トヨタ自動車),斎藤 広和(トヨタ自動車),味岡 正樹(トヨタ自動車)

著者名(英語): Masanori Usui(Toyata Central R&D Labs.,Inc.),Takahide Sugiyama(Toyata Central R&D Labs.,Inc.),Masayasu Ishiko(Toyata Central R&D Labs.,Inc.),Jun Morimoto(Toyota Motor Corporation),Hirokazu Saitoh(Toyota Motor Corporation),Masaki Ajioka(Toyota Motor Corporation)

キーワード: パワーデバイス|トレンチゲート|ホットキャリア|発光解析

要約(日本語): 近年，優れた特性を持つトレンチ型のIGBTは，ハイブリッド自動車のインバータなど，多様なパワーエレクトロニクスのアプリケーションに使用されている。ここに使用されるトレンチゲート酸化膜の信頼性向上には，破壊機構の理解が必要である。ここでは，酸化膜への電流注入分布が観察可能なホットキャリア発光解析を使用して，トレンチゲート酸化膜を評価した。その結果，高電界印加によって酸化膜への電流注入分布が変動することを初めて明らかした。つまり，トレンチ端部への電流集中から，トレンチ全体への電流注入へと変化するのである。本検討により，ホットキャリア発光解析を使用したトレンチゲート酸化膜評価の有効性が確認できた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 627 Kバイト