並列共振ゲート回路を用いた超高周波FET電源のドライブ法

カテゴリ: 全国大会

論文No: 4-059

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

タイトル(英語): Driving method of a ultra high frequency FET power supply using parallel resonance gate circuits

著者名: 鈴木 茂之(長岡技術科学大学),高橋 勲(長岡技術科学大学)

著者名(英語): Shigeyuki Suzuki(Nagaoka University of Technology),Isao Takahashi(Nagaoka University of Technology)

キーワード: 並列共振回路|正弦波スイッチング|ドライブ電流の低減

要約(日本語): 本論文ではプラズマ発生用に用いられる高周波電源の回路構成として、効率の良いスイッチング方式を用いており、高周波でFETを駆動するためにはFETの入力容量を高速に充放電するための大電流が必要となる。本稿で提案するドライブ法はFETの入力容量と並列にインダクタンスを接続することにより並列共振回路を構成し無効電流を制御することで、ドライブ電流の低減をすることができる。またFETのゲート・ソース間電圧は正弦波になるが電流も正弦波となるため零電流付近でスイッチングするためロスの少ないスイッチングが可能となる。提案するドライブ回路を単相フルブリッジインバータに用い実験によりその有効性を確認した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,267 Kバイト