バルクマイクロマシニング技術による２次元レンズ駆動スイッチ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-S21-1

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

著者名: 年吉洋 (東京大学),猿田訓彦 (東京大学),藤田博之 (東京大学)

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,841 Kバイト