３次元型光スイッチ用２軸櫛歯駆動型MEMSミラーアレイ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-S21-2

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

著者名: 壷井修 (富士通研究所),水野義博 (富士通研究所),高馬悟覚 (富士通研究所),曽根田弘光 (富士通研究所),奥田久雄 (富士通研究所),上田知史 (富士通研究所),佐脇一平 (富士通研究所),山岸文雄 (富士通研究所),中村義孝 (富士通メディアデバイス)

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,016 Kバイト