圧電性材料の成膜技術とＭＥＭＳへの応用　-ＰＺＴ系材料の成膜・デバイス形成技術に関する研究-

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-S22-2

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

著者名: 一木正聡 (産業技術総合研究所),曹俊杰 (産業技術総合研究所),張麓 (産業技術総合研究所),王占杰 (東北大学),前田龍太郎 (産業技術総合研究所)

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 4,224 Kバイト