Si基板上PZT-PZN圧電体厚膜の作製

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-S22-3

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

著者名: 久保田哲平 (村田製作所),山田和弘 (村田製作所),田中克彦 (村田製作所),坂部行雄 (村田製作所)

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 957 Kバイト