円筒形表面波プラズマを用いた棒状電極への炭素膜の成長

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-041

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

タイトル(英語): Growth of carbon film on a rod type electrode with cylindrical surface wave plasma

著者名: 床井博洋 (東京理科大学),山崎 智光(東京理科大学),小越 澄雄(東京理科大学)

著者名(英語): Hirooki Tokoi(Tokyo University of Science),Tomomitu Yamazaki(Tokyo University of Science),Sumio Kogoshi(Tokyo University of Science)

キーワード: 表面波プラズマ|円筒形|電子密度|プラズマCVD|棒状電極|ダイヤモンドライクカーボン

要約(日本語): 円筒形表面波プラズマに着目し、プラズマ診断と炭素物質の成長を行い、アスペクト比の大きい物体への炭素物質成長においての有効性を確認した。プラズマのマイクロ波吸収電力を変化させ電子密度を測定したところ、吸収電力にほぼ比例して電子密度が増加した。また、その密度が共鳴密度を超えていることから、表面波が励起されていると考えられる。次に、円筒形表面波プラズマの軸方向に均一なプラズマ特性を生かすため、アスペクト比の大きなNi管を基板としてCVDを行った。その結果、Ni管表面には7cmほどにわたってダイヤモンドライクカーボンと考えられる黄褐色の炭素膜が付着した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 720 Kバイト