電子の実空間移動速度と電離係数

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-067

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

タイトル(英語): Drift velocity in configuration space and ionization coefficient of electron

著者名: 武田 章秀(四国大学),生田 信皓(千葉工業大学)

著者名(英語): Akihide Takeda(Shikoku University),Nobuaki Ikuta(Chiba Institute of Technology)

キーワード: 移動速度|電離係数|FTI法

要約(日本語): 電離あるいは付着の起る条件での電子群のPT平衡状態での実空間移動速度W_r'を,生成・消滅電子のvirtual displacement(Gx_i, Gx_a)を補足して与える式を先に提案し,Ar中でα_P=ν_i/W_r'がSST条件で得られる電離係数α_S=dlnΓ(x)/dxと一致することから,W_r'の定義が妥当であろうと推論した。今回はArの他,Kr,NeおよびSiH₄,CF₄中でのW_v,W_r'およびα_P,α_sの比較を行った。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 383 Kバイト