純粋C5F8中の電子輸送係数の測定

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-073

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

タイトル：純粋C₅F₈中の電子輸送係数の測定

タイトル(英語): Measurement of electron transport parameters in pure C₅F₈

著者名: 儘田祐介 (慶應義塾大学),中村 義春(慶應義塾大学)

著者名(英語): Yusuke Mamada(Keio University),Yoshiharu Nakamura(Keio University)

キーワード: C5F8|電子輸送係数|ドリフト速度|縦方向拡散係数

要約(日本語): 新しく開発された半導体プラズマプロセス用気体C₅F₈中の電子のドリフト速度と縦方向拡散係数をE/N=170-1400 Tdの範囲で測定した。ドリフト速度は200Td以下でE/Nの低下と共に増大する傾向を持つことが始めて示された。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 597 Kバイト