流れ場による大気圧グロー放電維持特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-077

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

タイトル(英語): Characteristic Measurements of Atmospheric Pressure Glow Discharge by Gas Flow Effect

著者名: 石井裕 (東北大学),服部邦彦 (東北大学),安藤晃 (東北大学),犬竹正明 (東北大学)

キーワード: 非平衡プラズマ|大気圧グロー放電|流れ|直流放電

要約(日本語): 大気圧非平衡プラズマは、真空装置が不要でコストの低減が図れること、又反応速度が大幅に向上する点で、環境改善やプラズマプロセスにおいて様々な分野から期待されている。その一つの気流を用いた針対平板電極間における大気圧グロー放電プラズマの研究では、気流流速の向上と電極構造の改良がプラズマの安定化に有効なことが報告された。しかしこれは均一な空気の気流についてのみ調べられ、不均一な気流中でのプラズマの安定維持の成功例は殆どない。そこで今回は非平衡状態の大気圧グロー放電を安定に維持する手法の開発を目的とし、局所的に気流を与えた場合の放電特性を調べた結果を報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 863 Kバイト