非対称電極系RFプラズマの1次元流体解析モデルの検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-079

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

タイトル(英語): On a 1D Fluid Model for RF Plasmas between Unequal-Sized Electrodes

著者名: 石原 裕一(北海道大学),蘇 淳烈(北海道大学),菅原 広剛(北海道大学),酒井 洋輔(北海道大学)

著者名(英語): Yuichi Ishihara(Hokkaido University),Soon-Youl So(Hokkaido University),Hirotake Sugawara(Hokkaido University),Yosuke Sakai(Hokkaido University)

キーワード: RFプラズマ|流体モデル|モデリング|窒素|シミュレーション

要約(日本語): 器壁が接地され接地電極の実効面積が駆動電極より大きくなる「非対称」電極系を考慮したRFプラズマの流体解析モデルについて検討する。1次元モデルで非対称性を考慮する手法として放電空間を円錐台形と見なすBarnesらのモデルが知られている。しかし接地電極の対駆動電極面積比を大きくするに従い横方向の一様性を仮定することが無理に見える形状になるが、支配方程式を変更することなく放電空間を同心球様とみなすモデルも成立する。駆動電極を接地電極が囲む構造が実際のチェンバ形状と類似していることから、1次元の支配方程式で非対称電極系を近似できる理由の一つになっているものと思われる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 736 Kバイト