RF絶縁破壊における電子ドリフト運動のモンテカルロシミュレーション

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-080

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

タイトル(英語): Monte Carlo Simulation of Electron Drift Motion in RF Breakdown

著者名: 佐々木典彦 (山形大学),庄司正文 (ワコム電創),内田裕 (東芝)

キーワード: RF絶縁破壊|電子ドリフト運動|モンテカルロシミュレーション

要約(日本語): 平行平板容量結合型RF(13.56MHz)放電の絶縁破壊時における電子の振動的ドリフト運動を、モンテカルロ法を用いてシミュレーションしている。電極における電子の反射の、ドリフト振幅や電子エネルギーに及ぼす影響の大きさを調べている。破壊特性(破壊電圧の圧力依存性)の右枝では、電子の運動は換算電界だけで決まるのに対し、左枝では、換算電界と反射により決まることが示された。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 607 Kバイト