パルス変調Ar誘導熱プラズマトーチ下流域におけるスペクトル放射強度の圧力依存性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-090

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

タイトル(英語): Radiation Intensity at Downstream Position of Pulse Modulated Ar Induction Thermal Plasma Torch at different pressures.

著者名: 谷口 賢次(金沢大学),黒川 隆彦(金沢大学),田中 康規(金沢大学)

著者名(英語): Kenji Taniguchi(Kanazawa University),Takahiko Kurokawa(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University)

キーワード: パスル変調誘導熱プラズマ|Arスペクトル放射強度|電流変調率SCL|過渡応答

要約(日本語): 高周波誘導熱プラズマを維持するコイル電流をミリ秒オーダの周期でパルス的にAM変調させ,熱プラズマを意図的に過渡状態にする「パルス変調誘導熱プラズマ(PMITP)」を導入した。これによって熱プラズマを時間的に交互に,ガス温度および電子温度の高・低ならびに高温熱流体の高速・低速状態とすることができる。一方熱プラズマプロセスにおいては,減圧下で行うことが多くなってきている。そこで,圧力を200‐1000 torrとした場合のAr PMITPの性状を解明することを目的として,分光観測により波長751 nmにおけるArスペクトル放射強度の過渡応答特性と電流変調率SCL依存性を測定した。ここでは特に反応容器内に着目している。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 3,594 Kバイト