駆動周波数制御による高効率熱プラズマ生成

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-194

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

タイトル(英語): High Efficiency Thermal Plasma Generation by Driving Frequency Control

著者名: 鵜飼 洋史(名古屋大学),Razzak Abdur(名古屋大学),高村 秀一(名古屋大学),上杉 喜彦(金沢大学)

著者名(英語): Hiroshi Ukai(Nagoya University),Razzak Abdur(Nagoya University),Shuichi Takamura(Nagoya University),Yoshihiko Uesugi(Kanazawa University)

キーワード: 誘導熱プラズマ|インバータ電源|高効率生成

要約(日本語): 本研究室では電源にSITインバータ電源を、動作回路に直列共振回路を用いて熱プラズマ生成を行っているが、生成時の問題点として、静電放電から誘導放電に移行したときに、電源の出力電力が低下してしまう問題がある。これは誘導放電時にプラズマ中に遮蔽電流が流れるために、コイルインダクタンスが減少し、負荷が容量性負荷に移行し、スイッチング損失が増大することが原因である。そこで本研究では誘導放電に移行した後に電源の周波数を掃引し、共振状態に近づけることで、スイッチング損失を減少させることを考えた。実際に周波数を掃引するとDC-RF変換効率が改善され、プラズマの吸収電力が増加し、高効率な熱プラズマ生成が可能になった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 683 Kバイト