微小電極間における絶縁破壊特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-201

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

タイトル(英語): Gas breakdown characteristics in micro-gaps

著者名: 角田 礼央(東京工業大学),椎名 淳(東京工業大学),白井 直機(東京工業大学),井深 真治(東京工業大学),安岡 康一(東京工業大学),石井 彰三(東京工業大学)

著者名(英語): Reo Tsunoda(Tokyo Institute of Technology),Jun Shiina(Tokyo Institute of Technology),Naoki Shirai(Tokyo Institute of Technology),Shinji Ibuka(Tokyo Institute of Technology),Koichi Yasuoka(Tokyo Institute of Technology),Shozo Ishii(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: マイクロギャップ|絶縁破壊|大気圧

要約(日本語): 近年、マイクロプラズマに関する研究がさかんに行われているが、微小電極間における放電機構の詳細については未解明である。本研究では、大気圧下でのミクロンオーダーの電極間における放電現象とその機構について検討した。パルス電圧を印加した場合、絶縁破壊電圧が直流印加時よりも上昇した。直流印加時では、電極間距離が10μm以下において、電流値を変化させることにより、スパーク状放電またはグロー放電が得られるが、パルス印加時ではスパーク状放電のみが観測された。また、微小電極間にガスをフローして直流電圧を印加した場合では、Ar、Heをフローしたとき、フローなしのときよりも絶縁破壊電圧が降下した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 709 Kバイト