細管からのガス流中の放電を用いたマイクロプラズマ生成

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-204

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

タイトル(英語): Microplasma creation using electrical discharges in the micro-gas-jet

著者名: 横山 拓馬(東京工業大学),浜田 修平(東京工業大学),井深 真治(東京工業大学),安岡 康一(東京工業大学),石井 彰三(東京工業大学)

著者名(英語): Takuma Yokoyama(Tokyo Institute of Technology),shuhei Hamada(Tokyo Institute of Technology),Shinji Ibuka(Tokyo Institute of Technology),koichi Yasuoka(Tokyo Institute of Technology),Shozo Ishii(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: マイクロプラズマ|細管|プラズマジェット|放電

要約(日本語): 近年、プラズマディスプレイ(PDP)やMEMS、真空紫外など短波長点光源、マイクロリアクタへの応用としてマイクロプラズマが研究されている。マイクロプラズマは、従来の応用で用いられるプラズマに比べスケールが十分小さいため、生成位置や体積を限定し原料やエネルギーの削減を行うことが可能であり、微小空間での動作圧力を大気圧条件下まで上昇させることができることから、新たな物理現象とその応用が期待される。本研究では、細管より自由空間に流出されるガス流により媒質を制限し、放電でのエネルギー注入によりマイクロプラズマの生成を行う。並列化して大面積化も可能であり、有用ガスの生成、プラズマ化学反応への適用を検討する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 705 Kバイト