マイクロホローカソード放電を用いた高気圧グロープラズマの放電特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-205

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

タイトル(英語): Characteristics of High-pressure Using Micro Hollow Cathode Discharges

著者名: 池田 浩士(埼玉大学),大内 正樹(埼玉大学),前山 光明(埼玉大学)

著者名(英語): Hiroshi Ikeda(Saitama University),Masaki Ohuchi(Saitama University),Mitsuaki Maeyama(Saitama University)

キーワード: マイクロホローカソード放電|大容積放電

要約(日本語): 大容積大気圧プラズマの開発を目的とし、MHCDの放電特性について研究を行った。電極は2枚の薄い金属で絶縁スペーサを挟んだ構造をしており、今回使用したのは金属電極は厚さ100μmの銅板、絶縁スペーサは厚さ200μmのマイカ、電極の穴径は500μmと650μmの2種類を試みた。電極に直流高電圧を印加し、ガスの気圧を変えたとき、安定にグローが発生し始める電圧とその上限の電圧とその放電の様子、及び大気圧時の放電電流と電圧の特性を調べた。気圧が低くなるに従い、放電開始電圧は上昇、上限の電圧は減少し、低い電流でアークになった。穴径によって電圧は大きな違いは見られなかった。放電の色は紫であった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 127 Kバイト