Xeエキシマランプのパルス駆動とイオントラップ現象

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-206

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

タイトル(英語): Pulsed operation of Xe excimer lamp and ion trapping phenomena

著者名: 山口 隆士(東京工業大学),安岡 康一(東京工業大学),石井 彰三(東京工業大学),小林 伸次(東芝),村田 隆昭(東芝)

著者名(英語): Takashi Yamaguchi(Tokyo Institute of Technology),Koichi Yasuoka(Tokyo Institute of Technology),Shozo Ishii(Tokyo Institute of Technology),Shinji Kobayashi(TOSHIBA CORPORATION),Takaaki Murata(TOSHIBA CORPORATION)

キーワード: 誘電体バリア放電|エキシマランプ

要約(日本語): 現在,有害廃棄物全廃の世界情勢から水銀フリーの紫外線ランプが求められている。そこで我々は水銀ランプに代わるものとして実用性と経済性を考慮し誘電体バリア放電型Xeエキシマランプを考えている。Xeエキシマランプをパルス駆動し電圧電流特性を観測した。また,そのときのパルス幅による影響をリサジュー図を用いて検討した。その結果パルス幅が約17 μsecと長い場合に比べて1.5 μsecと短い場合にはイオントラッピング現象が顕著になることが分かった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,055 Kバイト