低エネルギーイオン照射によるPMMAの表面改質 IV ～窒素導入に対する硬度の向上～

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-210

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

タイトル(英語): Surface Modification of PMMA using Low Energy Ion Irradiation IV- Dose Dependence of Surface Hardness -

著者名: 荒井 麻紗子(武蔵工業大学),金井 弘士(武蔵工業大学),浜村 尚樹(武蔵工業大学),湯本 雅恵(武蔵工業大学)

著者名(英語): Masako Arai( Musashi Institute of Technology ),Hiroshi Kanai( Musashi Institute of Technology ),Naoki Hamamura( Musashi Institute of Technology ),Motoshige Yumoto( Musashi Institute of Technology )

キーワード: イオン照射|PMMA|ナノインデンテーション

要約(日本語): 著者らは、数100 eVの低エネルギーの窒素イオンを照射することにより、PMMA (polymethylmethacrylate)の表面改質を行っている。その結果、加速電圧100 Vで窒素イオンを照射することにより硬度が向上することを明らかにした。硬度向上の要因として、改質層に生成された炭素と窒素の架橋構造とC=C結合によるものと推測した。今回は、架橋構造に注目し、窒素イオン照射に対する硬度の変化と、アルゴンイオン照射に対する硬度の変化の比較を行う。このことにより、架橋構造の形成が窒素イオン照射による硬度の向上において支配的であることを確認した結果を報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 775 Kバイト