表面波放電プラズマ装置におけるモード制御

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-216

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

タイトル(英語): Mode control for surface wave plasma device

著者名: 田村 純(東京理科大学),小越 澄雄(東京理科大学)

著者名(英語): Jun Tamura(Tokyo University of Science),Sumio Kogoshi(Tokyo University of Science)

キーワード: 表面波|モード制御|FDTD法|スロットアンテナ

要約(日本語): 半導体プロセスにおいて要求される低ガス圧、高密度、低電子温度、大面積均一なプラズマ生成を可能とするプラズマ源として表面波放電プラズマが注目されている。表面波プラズマはモードと密度が密接に関連していると言われていたが、キャノンの鈴木氏、北川氏らが、アンテナ形状によっては密度を変化させてもモードが一定となる場合があることを実験により示した。本研究では、アンテナ形状により意図した任意のモード励起を可能とすることを主な目的とした。FDTD法による計算の結果、アンテナ形状を適当に設計することで、いくつかのモードを制御できるということがわかった。また、理論解析値と等しいモードを制御し励起させた場合は、プラズマのエネルギー吸収量が上昇し、より効率良くプラズマにエネルギーを吸収させることが可能になるということが示唆された。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 560 Kバイト