表面波プラズマにおけるエネルギー分布の誘電体からの距離依存性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-217

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

タイトル(英語): Dependence of the energy distribution in surface wave plasma on the distance from a dielectric

著者名: 田淵 猛征(東京理科大学),鎌田 貴之(東京理科大学),王丸 拓郎(東京理科大学),小越 澄雄(東京理科大学)

著者名(英語): Takeyuki Tabuchi(Tokyo University of Science),Takayuki Kamata(Tokyo University of Science),Takurou Oumaru(Tokyo University of Science),sumio Kogoshi(Tokyo University of Science)

キーワード: 表面波|PIC-MCC|エネルギー分布

要約(日本語): 半導体ドライプロセス用プラズマ源として、表面波放電プラズマが、高密度、低電子温度および大面積化可能のため注目されている。永津らは表面波プラズマのエネルギー分布が共鳴密度近辺で高エネルギー成分にコブができる特異な形状を持つことを実験的に示した(1)。我々は、これが共鳴点近傍の強い振動電界による電子加熱の結果生じたと考えている(2)。そこで、PIC-MCC(Particle In Cell-Monte Carlo Collision)シミュレーションを用いてこのエネルギー分布変化の再現を試み、その生成、緩和機構について検討した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 645 Kバイト