多元電子ビーム蒸着法を用いたクロム酸鉛結晶薄膜の成長とその感湿特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-094

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

タイトル(英語): Growth of Crystalline Lead Chromate Film by Multi-Source Electron Beam Evaporation Method and It’s Humidity-Sensitive Characteristics

著者名: 佐々木 孝明(関東学院大学),大津 稔(関東学院大学),菅 禎彦(関東学院大学),平松 友康(関東学院大学),金子 文隆(湘南工科大学),難波 典之(関東学院大学)

著者名(英語): Takaaki Sasaki(Shonan Institute of Technology),Minoru Ootu(Shonan Institute of Technology),Yoshihiko Suga(Shonan Institute of Technology),Tomoyasu Hiramatsu(Shonan Institute of Technology),Fumitaka Kaneko(Shonan Institute of Technology),Noriyuki Nanba(Shonan Institute of Technology)

キーワード: 湿度センサ|多元電子ビーム蒸着法|クロム酸鉛|母体制御型|As grown|感湿性

要約(日本語): 湿度センサ材料で主に市販されているものは、水の物理吸着を利用した気孔制御型の性質を持った材料である。しかしこの型のものは、高湿度において水が気孔に入り込むことで低湿度側への帰還の際に抜けきらず、ヒステリシスの原因となる。逆に母体制御型のものは水分子の化学吸着を利用し吸脱着が容易なためこれを必要としない。クロム酸鉛は母体制御型として、バルク、電子ビーム蒸着法、スパッタリング法などの報告例があり、湿度センサ材料として有望である。本実験では、多元電子ビーム蒸着法によりクロム酸鉛結晶薄膜を作製することに成功したのでここに報告する。

原稿種別: 日本語

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