H2プラズマアシスト・レーザアブレーション法によるDLC太陽電池の創製

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-099

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

タイトル：H₂プラズマアシスト・レーザアブレーション法によるDLC太陽電池の創製

タイトル(英語): The invention of the DLC solar cell by the Laser Ablation Method with H₂ Plasma Assist

著者名: 田中 慶彦(日本大学),鈴木 薫(日本大学)

著者名(英語): yoshihiko Tanaka(Nihon University College of Science and Technology),Kaoru Suzuki(Nihon University College of Science and Technology)

キーワード: DLC

要約(日本語): 近年、化石燃料の消費による環境破壊が問題視されているため、化石燃料に代わる新たなエネルギーが必要となってきており、クリーンなエネルギーである太陽エネルギーに注目が集まっている。そこで著者等はDLC薄膜のアモルファス半導体特性に着目し、太陽電池への応用を検討している。従来の成膜法としてプラズマCVD法があげられ、p型作成にはドープガスにB₂H₆を用い、n型作成にはPH₃が主に使用されている。しかし、これらのガスは毒性があるため、排気設備等に莫大な費用がかかる等、工業面において非常に厳しい制約がある。そこで我々は、不純物を毒性の少ない方法で混入した炭素をターゲットとし、レーザアブレーション法にてSi基板上に不純物ドープDLCの成膜を試みた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 791 Kバイト