精密金型保護用DLCのマスク形成時に於けるエッチング効果

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-100

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

タイトル(英語): The etching effect by the precision metallic mold DLC film for protection films covered with mask

著者名: 大坂 智子(日本大学),鈴木 薫(日本大学)

著者名(英語): Tomoko Osaka(Nihon University),Kaoru Suzuki(Nihon University)

キーワード: エッチング|放電　|プラズマ|DLC

要約(日本語): DLCは高硬度、低摩擦係数、耐摩耗性、耐食性、耐凝着性などの特徴から電子部品、金型など幅広い分野にわたって保護用として実用されている。保護用にDLC膜を使用する場合、使用後に劣化したDLCのみを選択的にエッチングできれば再生が可能となり工学的に有益である。本稿では負パルスバイアスイオンビーム蒸着法でSiに成膜したDLCに光硬化型接着剤を付着し紫外線で硬化させマスクを形成した後、プラズマによるエッチングを行った際の効果について評価、検討を行っている。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,195 Kバイト