干渉フェムト秒レーザー加工を用いた新ナノマテリアルの創製

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-002

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

タイトル(英語): Generation of new nanomaterials by interfering femtosecond laser processing

著者名: 中田 芳樹(九州大学),岡田 龍雄(九州大学),前田 三男(九州大学)

著者名(英語): Yoshiki Nakata(Kyushu University),Tatsuo Okada(Kyushu University),Mitsuo Maeda(Kyushu University)

キーワード: フェムト秒レーザー|干渉|アブレーション|ナノマテリアル|周期構造

要約(日本語): 干渉したフェムト秒レーザーを用いて薄膜加工を行うことにより、新しいナノマテリアル・ナノ構造を作製した。作製された構造はナノホールマトリクス・ナノメッシュ・グレーティング・ナノベルト・ナノバンプ・ビード付ナノバンプ等である。これらの構造の違いは干渉するフェムト秒レーザーの光束数やフルエンス、回折パラメーター等によってコントロールされる。本手法の特徴としては、独特の加工形状に加えて被加工物質の多様性やポータビリティー、低価格などがあり、従来のナノマテリアル・ナノ構造作製法と比較して多くの特徴を持つ、独特の新しい手法であると言える。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,748 Kバイト