レジストジェット飛翔の観測

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-027

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

タイトル(英語): Observation of Flying Resist Jet

著者名: 牛尾 敏光(福岡工業大学),片山 年美(福岡工業大学),松尾 一壽(福岡工業大学)

著者名(英語): Toshimitsu,Ushio|Toshimi,Katayama|Kazuhisa,Matsuo

キーワード: レジスト|塗布|インクジェット技術

要約(日本語): インクジェット技術を応用したプリンタは,低騒音・安価・写真画質に迫る高品質な製品の開発がなされ揺籃期から成熟期へと移行ている。しかし近年,インクジェット技術はプリンタ以外への分野で応用するための研究が活発になされている。特にナノテクノロジー分野への応用が有望であると考えられる。著者らは,半導体ウエハーへのレジスト塗布方法として,インクジェット技術の応用について検討を行っている。半導体ウエハーは,300mmへと移行しつつあり,そのレジスト塗布方法に関する研究が必要である。本稿では,インクジェット技術によるレジスト塗布方法を念頭に置いてノズル先端から飛翔するレジストジェットの観測結果について報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 750 Kバイト