レジストスプレーコーティングの成膜特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-119

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

タイトル(英語): Performances of resist spray coating

著者名: Vijay Kumar Singh (東北大学),佐々木 実(東北大学),羽根 一博(東北大学)

著者名(英語): Vijay Kumar Singh (Tohoku University),Minoru Sasaki(Tohoku University),Kazuhiro Hane(Tohoku University)

キーワード: スプレーコーティング|レジスト|リソグラフィ|立体

要約(日本語): 通常のリソグラフィ加工は平面を対象としている。対して、マイクロマシニングではセンサやアクチュエータの高機能化のために、深い凹凸を持つ立体構造上に更にリソグラフィ加工を施して、複雑な凹凸や電気配線を伴うデバイスが求められることが多い。立体的なサンプルにもリソグラフィ加工ができるよう、我々はスプレーコーティング装置を独自に開発してきた。スプレーはレジスト微粒子を気流に乗せてサンプル上に運ぶ役割を担うものであり、立体形状上に均一な膜を用意する積極的なメカニズムがある訳では無い。このため、ある種のバランスの上でリソグラフィに利用できる成膜が可能になる。本研究では、それらの具体的な傾向を報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 848 Kバイト