パターン移植による微細金属パターン作製

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-120

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

タイトル(英語): Fine Metal Pattern Fabrication by Transferral Process

著者名: 川田 博昭(大阪府立大学),上野 剛人(大阪府立大学),安田 雅昭(大阪府立大学),平井 義彦(大阪府立大学)

著者名(英語): Hiroaki Kawata(Osaka Prefecture University),Taketo Ueno(Osaka Prefecture University),Masaaki Yasuda(Osaka Prefecture University),Yoshihiko Hirai(Osaka Prefecture University)

キーワード: 移植法|エポキシ接着剤|微細金属パターン|ニッケルメッキ

要約(日本語): 副基板上に作製した金属パターンを所望する主基板上に貼り付け、移植することにより、主基板に微細金属パターンを作製する方法を開発した。接着はエポキシ接着剤で行った。市販のエポキシ接着剤をシクロヘキサノンで希釈し、スピンコートすることにより、主基板上に約0.3μmの薄いエポキシ接着層を得ることができた。副基板上に作製したNiパターンを薄いエポキシ接着層を塗布した主基板上に大気圧でプレスし、150℃に加熱して接着剤を硬化させ、主基板上にNiパターンを移植した。この方法で主基板上に3×5mmの大きなパターンから5μm角の小さなパターンまで作製することができた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 705 Kバイト