LIGAプロセスによる円筒型マイクロコイルの試作と評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-122

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

タイトル(英語): Fabrication of Cylindrical Micro-Coil by LIGA Process

著者名: 浅野 豪文(姫路工業大学),銘苅春隆 (姫路工業大学),久住 真治(進工業),佐藤 憲昭(樹研工業),山下 満(兵庫県立工業技術センター),嶋田 修(進工業),服部 正(姫路工業大学)

著者名(英語): Toshifumi Asano(Himeji Institute of Technology),Harutaka Mekaru(Himeji Institute of Technology),Shinji Kusumi(SUSUMU Co.,Ltd.),Noriaki Satou(Juken Kogyo Co,. Ltd.),Mituru Yamashita(Hyogo Prefectural Institute of Technology),Osamu Shimada(SUSUMU Co.,Ltd.),Tadashi Hattori(Himeji Institu)

キーワード: 立体コイル|LIGAプロセス|ウォーム射出成形

要約(日本語): 近年、様々な分野で利用されているチップコイルに対して、微細化・高性能化が求められている。しかし、従来の作製方法では精度・コストの両面の問題で困難であり、新たな作製方法が必要とされている。そこで我々は、LIGAプロセスを用いた立体的な微細構造パターンを持つコイルの新たな作製方法を提案した。作成方法としては10μm L&Sパターンの金型マスタ-を作製し、ニッケル電鋳法によってマイクロコイル用金型とし、この金型を用いてウォーム射出成形法により樹脂製のコイルコアを作製し、電極形成を行うことによりコイルの作製を行った。今回は作製したコイルの概観と実際にその特性を評価した結果について報告を行う。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 743 Kバイト