マイクロフォーカスX線検査装置用格子状位置表示器の開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-123

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

タイトル(英語): Development of Grid Position Indicator for Microfocus X - ray Inspection Systems

著者名: 安井 学(神奈川県産業技術総合研究所),佐々木 洋明(ナガセ電子機器サービス),平林 康男(神奈川県産業技術総合研究所),和久田 昌則(ナガセ電子機器サービス)

著者名(英語): Yasui Mnanabu(Kanagawa Industrial Technology Research Institute),Sasaki Hiroaki(Nagase Electronic Equipments Service.,Ltd),Hirabayashi Yasuo(Kanagawa Industrial Technology Research Institute),Wakuda Masanori(Nagase Electronic Equipments Service.,Ltd)

キーワード: 格子状位置表示器|マイクロフォーカスX線検査装置|LIGAライクプロセス|電鋳

要約(日本語): 高さ方向にチップを積層した半導体チップの品質管理をする上で,重要な問題の一つにはワイヤー流れの観察がある。しかし,ワイヤーは樹脂でモールドされており,直接観察できない。そのため,マイクロフォーカスX線検査装置が利用されている。しかし,管球状のディテクターを使用しているマイクロフォーカスX線検査装置では,撮像の周辺部で歪みが生じる。これは,入射窓が湾曲しているためであり,特に歪みの大きな部分では2-3%の誤差が生じる。そのため,補正にスケールが必要である。また,撮像上で位置を確認できる位置表示器の要望があることから,格子状位置表示器が必要である。本研究では,LIGAライクプロセスで作製した格子間の距離が設計値と一致したことを確認した.また,厚膜であるNi構造体がX線の吸収体に利用できることと実際にNi製格子状位置表示器が半導体チップを介してマイクロフォーカスX線検査装置に使用できることを確認した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 913 Kバイト