MEMS技術を用いた微細針の製作

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-125

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

タイトル(英語): Development of Micro Needle made by MEMS Technology

著者名: 望月浩晃 (姫路工業大学),瀧口 欣司(姫路工業大学),服部 正(姫路工業大学)

著者名(英語): Hiroaki Mochizuki(Himeji Institute of Technology),Kinji Takiguchi(Himeji Institute of Technology),Tadashi Hattori(Himeji Institute of Technology)

キーワード: MEMS技術|微細針|シリコン結晶異方性エッチング

要約(日本語): 糖尿病診断等の際に行われる血液検査において、採血時に痛みを伴わない微細な注射針の開発が求められている。そこで本研究ではMEMS技術を用いて、蚊の口器先端の形状を参考として新たな形の注射針の開発を行った。蚊の口器先端はノコギリの歯のようなギザギザ形状をしている。この形を得るために、シリコンの結晶異方性エッチングを利用する事を考え、微細針の金型をシリコンで製作した。第一段階として、シリコン基板上にギザギザ形状の先端部分となるピラミッド状エッチピットを形成し、第二段階でエッチピット同士をつなぎ合わせて最終的な針の形状を得る、多段階のプロセスによって金型を製作した。本稿では製作した金型について述べる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 805 Kバイト