梁の湾曲を利用した縦型櫛歯アクチュエータ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-126

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

タイトル(英語): Vertical Comb Drive Actuator Constructed by Buckled Bridges

著者名: 佐々木 実(東北大学),Danick Briand(ヌシャテル大学),Noell Wilfried(ヌシャテル大学),F. de Rooij Nicolaas (ヌシャテル大学),羽根 一博(東北大学)

著者名(英語): Minoru Sasaki(Tohoku University),Briand Danick(University of Neuchatel),Noell Wilfried(University of Neuchatel),F. de Rooij Nicolaas (University of Neuchatel),Kazuhiro Hane(Tohoku University)

キーワード: 梁の湾曲|圧縮応力|縦型櫛歯アクチュエータ

要約(日本語): 縦型櫛歯アクチュエータはマイクロミラーを回転させるのによく利用される。横型櫛歯アクチュエータを縦方向に位置ずれさせた立体構造を用意して構成される。通常はSOIウェーハの表裏両面から各レイヤーをエッチングして製作されるが、櫛歯の配置が両面アライナの精度に依存することや、裏面ハンドリング層のエッチングが深くアスペクト比も高くなることなどの技術的な制限を受け易い。本研究では、デバイス層から製作する構造に、熱酸化膜の圧縮応力によって湾曲する梁を導入することで、立体的に配置した縦型静電アクチュエータを製作したので報告する。上下の櫛歯は一度のパターニングで用意でき、リリースと同時に立体的に配置される。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 849 Kバイト