新しい垂直構造体の試作 -プレート引き起こし～プレート角度制御-

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-128

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

タイトル(英語): Test Production of New Vertical Structure - Pop-up Technique of the Plate and Control of the Plate Angle -

著者名: 小西 浩(ニコン),石津谷徹 (ニコン),鈴木 純児(ニコン),大内泰司 (ニコン),赤川 圭一(ニコン),鈴木 美彦(ニコン)

著者名(英語): Hiroshi Konishi(Business Development Department Core Technology Center),Tohru Ishizuya(Business Development Department Core Technology Center),Junji Suzuki(Business Development Department Core Technology Center),Yasushi Ohuchi(Business Development Department Core Technology Center),Keiichi Akagawa(Business Development Department Core Technology Center),Yoshihiko Suzuki(Business Development Department Core Technology Center)

キーワード: 垂直構造|表面MEMS|光MEMS|RF-MEMS

要約(日本語): これまでに平面プレートを垂直に立てる技術は、いくつか提案されているが、我々は今回表面MEMSプロセス技術を利用し、以下の方法により新しい垂直構造体を試作することに成功した。?平面プレートを引き起こすための力として、「折返し構造」のバイマテリアル梁が有する内部応力を利用した。?プレート角度を固定するためにストッパーを設けた。さらに、ストッパーの位置調整によりプレート角度をコントロールできるようにした。今回試作した垂直構造体は、フォトレジストを犠牲層とした表面MEMSプロセスで作製しているため、他のプロセスとの整合性が高く、光MEMS、RF-MEMS分野のさまざまな素子に応用が期待できる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,514 Kバイト