マイクロバルブ集積回路の設計手法とその検証

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-131

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

タイトル(英語): A Design Methodology and Experimental Verification of Microvalve Integrated Circuits

著者名: 高尾 英邦(豊橋技術科学大学),澤田 和明(豊橋技術科学大学),石田 誠(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Hidekuni Takao(Toyohashi University of Technology),Kazuaki Sawada(Toyohashi University of Technology),Makoto Ishida(Toyohashi University of Technology)

キーワード: マイクロバルブ|集積回路|デバイスモデル|MOSFET|MOSLSI

要約(日本語): 本発表では、MEMS技術を用いて多数のマイクロバルブを一括形成し、それらを組み合わせて流体を制御・処理する新しい集積回路技術について述べる。特に、マイクロバルブによる集積回路を設計する手法を確立し、実験結果との比較を行ったので報告する。本研究のニューマチックマイクロバルブはシリコンのMOSFET特性と良好な相似性を有しており、マイクロバルブの適切なデバイスモデルを構築することで、MOSLSIの分野で長年蓄積されてきた集積回路設計手法をマイクロバルブ集積回路に大部分適用できる可能性がある。講演においては、マイクロバルブデバイスの解析モデル化と回路設計例、実験結果との比較結果について報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 929 Kバイト