新型気体センシングデバイスとその応用

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-144

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

タイトル(英語): New Type Gas Sensing Device and Its Applications

著者名: 木村 光照(東北学院大学),菊地 和也(東北学院大学)

著者名(英語): Mitsuteru Kimura(Tohoku Gakuin University),Kazuya Kikuchi(Tohoku Gakuin University)

キーワード: 温度センサ|マイクロヒータ|SOI|ガスセンサ|湿度センサ|真空センサ

要約(日本語): 我々が提案したpn接合ダイオードサーミスタを使用し、気体組成分析用の高感度、低消費電力、高速応答の超小型温度センサの開発を行ってきた。ここでは、エアブリッジ上にダイオード温度センサを二つ設け、一方はヒータで囲んでいる温度センサで、ヒータの温度を一定になるように制御し、他方は、周囲気体の熱伝導率変化を検出する新しい気体センシングデバイスとその応用について報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 718 Kバイト