ドライエッチングを用いたバイコンベックス型水晶振動子マイクロバランスの製作

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-145

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

タイトル(英語): Fabrication of bi-convex quartz crystal microbalance by using dry etching

著者名: 安部 隆(東北大学),李 麗(東北大学),江刺 正喜(東北大学)

著者名(英語): Takashi Abe(Tohoku University),Li Li(Tohoku University),Masayoshi Esashi(Tohoku University)

キーワード: 水晶振動子マイクロバランス|反応性イオンエッチング|コンベックス|粘弾性|リフロー

要約(日本語): 粘弾性負荷の大きな環境下でも安定に振動する小型水晶振動子センサを実現するために以下のユニークな技術を開発した。コンベックス形状をレジストリフローであらかじめに水晶板上に製作し、鏡面エッチング加工が可能な反応性イオンエッチング技術を用いてその形状を転写し、二次元面内にレンズ状の厚みの分布を持つ水晶振動子を大量一括生産することに成功した。今回、さらに、通常の加熱リフロー法で製作困難な直径がmmサイズまでのコンベックス形状の形成に成功した。製作した振動子は、未加工の場合と比較して、6倍高い粘性溶液中においても周波数応答が粘性変化に比例しており、ダンピング負荷の大きな環境下で優れた振動特性を持つことが示された。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 860 Kバイト