ピエゾ素子とVCMを備えた除振装置の完全除振条件

カテゴリ: 全国大会

論文No: 4-196

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

タイトル(英語): Complete Isolated Condition of an Anti-Vibration Units with Piezo Actuator and Voice Coil Motor

著者名: 星 真(東京農工大学),赤津 観(東京農工大学),涌井 伸二(東京農工大学)

著者名(英語): Makoto Hoshi(Tokyo University of Agriculture and Technology),Kan Akatsu(Tokyo University of Agriculture and Technology),Shinji Wakui(Tokyo University of Agriculture and Technology)

キーワード: 除振装置|完全除振条件|状態フィードバック

要約(日本語): 微細加工や精密測定などの分野では、静寂な振動環境の要求が高いため、精密除振装置の研究開発が活発に行われている。最近では、微振動に対応するために、ピエゾ素子をアクチュエータとするアクティブ除振装置が注目されている。本稿では、ピエゾ素子を備えた2自由度力系の除振装置に、新たにVCMを付加し、状態フィードバック制御を施すことで除振特性を改善させる。具体的に、床振動の影響を全く受けない完全除振条件を提案する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,768 Kバイト