1軸空気ばね式除振装置の浮上制御実験

カテゴリ: 全国大会

論文No: 4-197

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

タイトル(英語): Levitation Control Experiment for Vibration Isolated Table with 1-DOF

著者名: 下留 寿晴(東京農工大学),赤津 観(東京農工大学),涌井 伸二(東京農工大学)

著者名(英語): Toshiharu Shimotome(Tokyo University of Agriclture and Technology),Kan Akatsu(Tokyo University of Agriclture and Technology),Shinji Wakui(Tokyo University of Agriclture and Technology)

キーワード: 除振装置|空気ばね|圧力フィードバック

要約(日本語): 計測装置や半導体装置などは、床から装置へ伝わる微振動を抑制するために除振装置が必要である。同装置の性能は床振動に対する除振台上の振動の比、すなわち除振率で規定される。これをいかに下げるかが課題となっている。機構的には除振台質量の増加、あるいはばね定数を下げることで固有振動を下げられるが本研究では質量、粘性摩擦係数、ばね定数をフィードバックによって操作することで除振率の向上をはかり、実験にて検証した結果を報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,387 Kバイト