加速度フィードバックによる機台・テーブルシステムの位置決め制御

カテゴリ: 全国大会

論文No: 4-198

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

タイトル(英語): Positioning of Table Drive System on Machine Stand Using Acceleration Feedback

著者名: 丹羽 泰生(名古屋工業大学),水田 行彦(名古屋工業大学),川福 基裕(名古屋工業大学),岩崎 誠(名古屋工業大学),平井 洋武(名古屋工業大学)

著者名(英語): Yasuo Niwa(Nagoya Institute of Technology),Yukihiko Mizuta(Nagoya Institute of Technology),Motohiro Kawafuku(Nagoya Institute of Technology),Makoto Iwasaki(Nagoya Institute of Technology),Hiromu Hirai(Nagoya Institute of Technology)

要約(日本語): 本稿では,機械フレーム・機台の小型軽量化による装置全体の振動がテーブル位置決め制御性能の劣化や作業環境の悪化を起こす諸問題に対し,機台振動のテーブル位置決めへの影響を低減し,テーブル位置決め精度を向上することを目的とする。ここでは,機台の加速度をセンサにより検出し,機台振動の影響をテーブル位置への位置外乱と捉えて,その影響を相殺する手法を用いる。ここでは,2慣性共振振動抑制を目的とした既約分解表現によるテーブル2自由度位置決めを基に,機台振動のテーブル位置決めへの影響を除去する機台加速度フィードバック制御を併用する。これにより,テーブル位置決め精度の向上が図られた。

原稿種別: 日本語

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