非共振型アクチュエータを用いた超精密ステージに対する摩擦特性の検証と位置制御法

カテゴリ: 全国大会

論文No: 4-204

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

タイトル(英語): Position Control of a Precision Stage with Non-Resonant Ultrasonic Motor Considering Friction Property

著者名: 大石 卓也(群馬大学),橋本 誠司(群馬大学),石川 赴夫(群馬大学),大石 潔(長岡技術科学大学),小坂 光二(熊本テクノロジー),久保田 弘(熊本大学),大見 忠弘(東北大学)

著者名(英語): Takuya Ohishi(Gunma University),Seiji Hashimoto(Gunma University),Takeo Ishikawa(Gunma University),Kiyoshi Ohishi(Nagaoka University of Technology),Kouji Kosaka(Kumamoto Technology),Hiroshi Kubota(Kumamoto Univercity),Tadahiro Ohmi(Tohoku University)

キーワード: 精密ステージ|精密位置決め|摩擦補償|スティックスリップ

要約(日本語): 現在、半導体製造用精密ステージのアクチュエータには要求される位置決め精度より磁気型のリニアモータが多く用いられている。しかしながら次世代では転写用光源の本命とされている電子ビームとの整合性から磁気ノイズの生じないアクチュエータが望まれている。本研究に使用している非共振型超音波モータは、電磁力を用いず磁気ノイズ特性に優れている反面、摩擦駆動により動作しているため、ナノオーダでの高精度位置決めを実現させるためには摩擦補償が不可欠となる。そこで本研究では、摩擦特性について調べ、それを各位置に対する静止摩擦の同定へと拡張する。この同定値に基づきモデルベースの静止摩擦補償実験を行い有効性を検証した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 3,334 Kバイト