磁気軸受によるモード制振の可能性検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 4-210

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

タイトル(英語): Feasibility Study on Vibration Mode Suppression Using Magnetic Bearing

著者名: 田中 寿也(東京農工大学),赤津 観(東京農工大学),涌井 伸二(東京農工大学)

著者名(英語): Toshiya Tanaka(Tokyo University of Agriculture and Technology),Kan Akatsu(Tokyo University of Agriculture and Technology),Shinji Wakui(Tokyo University of Agriculture and Technology)

キーワード: モード別制振|モード分離補償器|磁気軸受

要約(日本語): 半導体作成プロセスにおいては、微振動が大きな影響を与える。そこで、筆者は電子ビーム露光装置を例にあげ、真空装置としてあらかじめ装着されているターボ分子ポンプを用いて構造物の振動を制振する方法を提案した。しかし、この際振動モードごとで方向が異なるためこれを考慮する必要がある。そこで、本研究では、「モード分離補償器」を用いることで、基本モードと2次モードの分離検出を行い、これをフィードフォワード信号として系の中に加えることでモード別に制振を行う方法を提案する。その結果、基本モード及び2次モードの振動方向に関わらず、より広い帯域で制振が可能となる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,437 Kバイト