誘導電荷型静電アクチュエータ出力の計算

カテゴリ: 全国大会

論文No: 5-046

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

タイトル(英語): Numerical calculation of an induced electrostatic actuator

著者名: 伊藤 明(鈴鹿工業高等専門学校),豊崎 純(鈴鹿工業高等専門学校),齊藤正美 (鈴鹿工業高等専門学校)

著者名(英語): Akira Ito(Suzuka National College of Technology),Jun Toyosaki(Suzuka National College of Technology),Masami Saito(Suzuka National College of Technology)

キーワード: 静電アクチュエータ|数値計算

要約(日本語): 静電気力を用いたアクチュエータの方式の一つである、電極により誘導された電荷と電極に印加された電位の平面波とのすべりにより力を生じる誘導電荷型方式の駆動トルクの数値計算を行なった。固定子に無限に細かい電極を有しそこに波数k、角周波数ωの振進行波を印加した場合に移動子側に誘導される電荷を求め、平均出力トルクを各部分の誘電率及び導電率、波数kや角速度ωの値を変化させた。印加電界の進行方向とは逆向きに移動する現象や、移動子が浮上力及び吸引力を受ける現象が計算により求められた。これらは、実際の試作したポリイミドフィルムで見られる現象に対応すると考えられる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 721 Kバイト