絶縁用SF6 /N2混合ガス分離回収の自動化

カテゴリ: 全国大会

論文No: 6-216

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

タイトル：絶縁用SF₆ /N₂混合ガス分離回収の自動化

タイトル(英語): Developing Automated Gas Separation System for SF₆ / N₂ Insulation gas Mixtures

著者名: 山本修 (京都大学),道下誠 (京都大学),木内政行 (宇部興産)

キーワード: ガス分離|絶縁ガス|分離膜|混合ガス|濃度制御|自動制御

要約(日本語): 環境影響を低減するため、電気絶縁やプラズマプロセスに用いられる混合ガスの分離回収を進める必要がある。ガスを分離する方法として深冷法、PSA 法, 膜分離法などがある。本論文は膜分離法を用いた絶縁用SF6 /N2混合ガスの分離回収法に関するものである。ここでは使用する絶縁ガスのSF6 濃度によらずに回収ガスの濃度を一定に保つための自動制御機能を備えた回収装置について報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,465 Kバイト