CF4混合時におけるAr-CO2誘導熱プラズマの温度分布解析

カテゴリ: 全国大会

論文No: 6-225

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

タイトル：CF₄混合時におけるAr-CO₂誘導熱プラズマの温度分布解析

タイトル(英語): Numerical Calculation of Temperature Distribution in Ar-CO₂ Induction Thermal Plasma including CF₄

著者名: 丸岡 久充(金沢大学),岡田 健志(金沢大学),田中 康規(金沢大学)

著者名(英語): Hisamitsu Maruoka(Kanazawa University),Takeshi Okada(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University)

キーワード: 誘導熱プラズマ|PTFE|CF₄|CO₂|熱力学・輸送特性|温度場解析

要約(日本語): 近年CO₂遮断機モデルが開発された。この遮断器ノズルにもPTFEが用いられる。このPTFEと同様の組成をもつCF₄がCO₂に混入した場合,CO₂のプラズマクエンチング能力に与える影響を数値計算により検討した。計算方法としては,まず39種類の粒子を考慮して熱力学・輸送特性を計算した。次に,その結果を用いて誘導熱プラズマの温度場解析を行った。その結果,CO₂よりもCO₂+CF₄の場合にプラズマの温度が低下することがわかった。その理由としては,温度3000 K付近で高い比熱と温度10000 K以下で高い放射係数を持つことが考えられる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,161 Kバイト